过氧化氢等离子灭菌体系灭菌进程为双循环灭菌，分四个阶段[5]：准备期，**灭菌期，*二灭菌期，以及较后通风期。过氧化氢灭菌器灭菌体系的作业进程

(1)真空期是灭菌进程的**阶段(1托即1Torr(torr)=lmmHg=1．33322×lOZPa)，腔内压力经过抽真空降到700毫托，进入等离子阶段，这时腔内压力被控制在500毫托，短循环10分钟，长短循环15分钟，水分蒸腾并经过真空泵抽出腔外，有助于将物品表面或内部的残留湿气驱除干净。15分钟后通风阀打开，经过过滤的空气进入腔体，当压力到达大气压时，真空泵再次作业，将腔内压力降低到0．4托。然后进入*二阶段，也即**灭菌期。

(2)**灭菌期分打针阶段、分散阶段、等离子阶段。首先打针针头刺穿含浓度为59％过氧化氢的胶囊，由于腔内已抽为高真空，过氧化氢*汽化并充分分散，这一进程过氧化氢已有对生物组织的致死作用。胶囊坐落卡盒中，每盒含十个胶囊，能够完成五个消毒灭菌周期，卡盒的方位和打针由软件控制和监测，打针进程继续6分钟。然后经过过滤的空气进入腔内(短循环2分钟，长循环10分钟)，使得过氧化氢分散到腔内各个角落以及被灭菌器械的表面。真空泵再次将腔内压力由760托降到0．5托，进入等离子阶段，腔内被载入继续两分钟的射频，产生辉光放电，过氧化氢衍生出等离子体，它能干预和损坏微生物的生成，一旦射频中止，等离子气就转换为无害的水汽和氧气。较后真空泵再次将压力从0．5托降低到0．4托，进入*三阶段，也即*二灭菌周期。

(3)*二灭菌周期和**灭菌周期完全相同，等离子阶段完毕后，进入*四阶段，通风阶段。

(4)在通风阶段，进气阀打开，经过过滤的空气进入腔内，压力回到大气压力，灭菌进程完毕。整个灭菌进程继续55分钟，长循环72分钟。